等离子体氮钝化GaSb材料表面特性研究
利用等离子体增强原子层沉积系统,以逐层刻蚀方式对GaSb进行氮(N)钝化处理,研究了钝化过程中刻蚀周期对GaSb钝化效果的影响.研究结果表明,当刻蚀周期数为200时,钝化效果最好;刻蚀周期数不足(100)时,钝化效果最弱;刻蚀周期数较高(300~400)时,随着刻蚀周期数的增大,钝化效果减弱.
材料、光致发光、N钝化、GaSb、刻蚀周期
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O472(半导体物理学)
国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;吉林省科技发展计划;吉林省科技发展计划;吉林省科技发展计划;吉林省科技发展计划
2018-03-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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