改性抛光剂对光学玻璃抛光质量的影响

摘要：

为了抑制抛光粉纳米颗粒的团聚,改善抛光液的性能,使光学玻璃获得更高的抛光速率与更低的表面粗糙度,在氧化铈抛光液中添加阴离子表面活性剂梅迪兰,研究了梅迪兰质量分数对抛光液中粒子粒径、分散性以及材料去除率和抛光后光学玻璃表面粗糙度的影响.结果表明:微量梅迪兰能显著改善抛光液中粒子的分散性,抑制纳米粒子的团聚,提高抛光液的质量;当梅迪兰质量分数为0～0.32％时,随着质量分数增大,化学机械抛光速率先增大后减小,当质量分数为0.26％时达到最大值122 nm/min;玻璃的表面粗糙度随着梅迪兰质量分数增加而先减小后增大,在质量分数为0.13％时达到最小值0.928 nm.

关键词：材料、表面活性剂、化学机械抛光、光学玻璃、材料去除率、表面粗糙度

所属期刊栏目：44

分类号：TG356.28(金属压力加工)

资助基金：国家国际科技合作专项基金2010DFB70490

在线出版日期：2018-02-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：124-130