不同干涉仪检测光学元件功率谱密度的比较

摘要：

为了探究不同干涉仪对中频误差的响应规律,获得相对真实的功率谱密度(PSD)分布,分别利用4DAccuFiz、ZYGO DynaFiz以及ZYGO GPI三台干涉仪检测周期性波纹和划痕样品,并对一维实测PSD曲线进行对 比分析.结果表明,不同干涉仪对中高频信息的响应度不同;干涉仪分辨率越高,响应度越高.利用仪器传递函数(ITF)曲线对实测PSD分布进行了修正,获得了较为真实的PSD分布.在某些频率范围内,标定的ITF曲线和实际响应仍存在差异.

关键词：测量、功率谱密度、干涉仪、中频波面误差、仪器传递函数

所属期刊栏目：43

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2016-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：112-119