高精度深紫外光学透射率测量装置的研制

摘要：

为了精确控制曝光剂量,需要精确测量光刻系统的光学透射率.采用了双光路对比的方法进行透射率测量,有效地消除了准分子激光器能量波动带来的透射率测量误差.并通过加入起偏器,消除了准分子激光器偏振态不稳定带来的误差.搭建了深紫外光学透射率测量装置,对1片可计算透射率的光学样品进行透射率测量,其测量结果与透射率理论计算结果基本一致.测量结果显示,该装置的测量重复性可达到0.3％.通过分光光度计对该光学样品进行测量,通过结果对比,该装置的测量结果与分光光度计的测量结果相差0.28％.另外,该装置应用灵活,可以测量光学系统的透射率,具有不受待测光学样品尺寸影响的优点.

关键词：物理光学、深紫外、透射率测量、双路对比、重复性、高精度

所属期刊栏目：43

分类号：TH741;TN23;TH247(仪器、仪表)

在线出版日期：2017-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：169-175