超声波辅助飞秒激光加工光纤材料的工艺探索

摘要：

为了研究超声振动对飞秒激光微加工的影响,设计超声辅助装置,进行石英光纤材料的微结构加工试验.探讨不同功率的超声振动对材料加工表面质量及孔深的影响,明确超声辅助飞秒激光加工的作用机理.引入超声振动后,光纤侧面烧蚀的矩形槽壁面更为平整,残留碎屑明显减少,槽或孔的深度有所增加;在超声功率为30W时,孔的锥度由7.34°减小到4.17°.结果表明,超声振动能有效改善材料加工表面质量,增加加工孔的深度,提高飞秒激光的加工效率,证明超声振动对飞秒激光加工具有明显的改善作用.

关键词：激光光学、飞秒激光、微加工、超声振动辅助、表面质量

所属期刊栏目：43

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金51175393,61475121;湖北省自然科学基金2014CFB260

在线出版日期：2017-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：60-65