高效率ArF准分子激光复合腔技术研究

摘要：

短波长、高光子能量的ArF准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用.结合线宽压窄技术方案设计了193 nm ArF准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理.针对准分子激光器的长腔特性,提出了实现其复合腔窄带激光模式锁定的解决方案,并进行了实验验证.与通常插入色散元件的单窄带腔相比,锁定后的准分子激光复合腔在输出线宽基本不变的情况下能量提高了4.02倍,激光效率大幅提升,能量稳定性也大幅优化.

关键词：激光器、准分子激光器、复合腔、高效率、窄线宽

所属期刊栏目：43

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;北京市科技专项

在线出版日期：2017-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6