一种小口径凸非球面补偿器的设计

摘要：

离轴三反光学系统目前常被多谱段共口径光学系统作为共口径端,检测离轴三反光学系统中凸非球面次镜对,需要通过补偿法来实现非球面的高精度检测,因此补偿器的优化设计是关键技术之一.对于二次曲面系数较大同时背面为非透射面的小口径凸非球面,无法采用非球面透射式的补偿法进行检测,因此采用凸非球面直接作为反射面的自准直平行光补偿检验法.根据设计思路,利用Zemax软件构建初始结构并对其进行优化,这样简化了初始结构计算过程,同时能得到理想的补偿器系统结构.给出了一个口径为80 mm、二次曲面系数为-6.5,F数为5.00375的凸非球面反射镜的补偿器系统的设计过程和公差分析过程,系统工作波长为632.8 nm,均方根值为0.000015λ,公差分配后残余波像差为0.0104708λ.

关键词：检测、光学设计、补偿器、公差分析

所属期刊栏目：42

分类号：O436(光学)

资助基金：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所重大创新资助项目;中国科学院重点实验室开放基金

在线出版日期：2015-12-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：294-301