荧光显微镜中蓝光激光器基频腔面膜的研制

摘要：

蓝光激光器在生物工程、激光显示屏、激光医疗以及侦查通讯等众多领域都有着重要应用,而谐振腔作为激光器的重要组成部分,如何合理有效地激发出蓝光更是研究的重点.针对蓝光激光器的使用要求,以Nd∶YAG作为基底,Ta2O5和SiO2分别作为高低折射率材料,利用电子束真空镀膜设备,双离子源辅助沉积的方法进行谐振腔面膜的制备.借助膜系设计软件对实验进行模拟分析,优化改善电场分布,减小激光对薄膜的损伤,详细地叙述了极值法累积误差产生的原因,以及镀膜材料的色散引起的短波区和长波区的监控差异,通过分析折射率所引起的光学厚度变化,调整修正因子,最终制备出了光谱性能好,吸收小,化学性能稳定的滤光膜,满足蓝光激光器的使用要求.

关键词：薄膜、膜系设计、Nd∶YAG、蓝光激光器、离子源辅助沉积

所属期刊栏目：42

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;省部产学研结合项目

在线出版日期：2015-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：210-215