激光透射连接硅与玻璃熔池研究

摘要：

使用Nd∶ YAG脉冲激光器对硅与玻璃进行激光透射连接实验,研究了工艺参数(功率、速度及离焦量)对熔池几何要素(熔深、熔宽及深宽比)的单因素及交互式影响,分析了激光能量密度对激光透射连接硅与玻璃熔池成形的影响,并量化了激光能量密度与熔池几何要素之间的关系.得到了深宽比与剪切强度的匹配曲线.结果表明,当激光能量密度大于8 J/mm2时,深宽比趋于平稳,深宽比达到0.25时,其剪切强度达到最大值,激光能量密度对熔池成形及连接质量有着较为显著的作用.

关键词：激光技术、激光透射连接、硅、玻璃、熔池

所属期刊栏目：40

分类号：TG456.7(焊接、金属切割及金属粘接)

资助基金：国家自然科学基金51275219;江苏省光子制造科学与技术重点实验室开放基金GZ201105;江苏高校优势学科建设工程资助课题

在线出版日期：2013-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：184-190