超短激光抛光微加工的数学建模与实验研究
157 nm是对硬脆材料进行激光表面微加工的理想波段.构建数学模型以探讨激光抛光材料时工艺参数对表面粗糙度Ra的影响,使用最小二乘法推导出粗糙度的计算式.利用157 nm激光对GaN外延片进行了抛光微加工的基础实验.通过比较多组模拟与实验粗糙度值,发现理论粗糙度值与实际的测量值之间有一定误差,但相对误差都在15％以下,最小的相对误差为4％.以低于15 Hz的脉冲频率和高于0.7 mm/min的扫描速度进行激光扫描刻蚀时,可以获得较低的表面粗糙度.数学模型合理地解释了抛光后底面沟壑的形成,为今后改善加工质量提供了理论依据.
激光技术、157 nm激光抛光、表面粗糙度、数学模型
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TN249(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金51175393;湖北省自然科学基金2011CDA055资助课题
2013-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
162-166
