可见与近红外激光通信系统光学滤光膜的研制

摘要：

在空间光通信中,光学系统起着非常重要的作用,光学薄膜技术已成为制作光学元件的关键技术.对532、808、1064、1550 nm激光工作的4个波段,选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料,借助于膜系设计软件,采用电子束蒸发和离子辅助沉积的方法设计并制备了激光滤光膜.镀膜后的基片在808 nm处的透射率大于90％,532、1064、1550 nm处的反射率均大于99％.重点解决了808 nm透射区半波孔的问题,通过对基片进行清洁、减少薄膜的吸收和进行真空退火等方法提高了膜层的激光损伤阈值.经过性能测试和评估,满足系统的要求.

关键词：薄膜、激光滤光膜、离子辅助沉积、激光损伤阈值、空间光通信

所属期刊栏目：39

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：吉林省重大科技攻关项目2009ZDGG007资助课题

在线出版日期：2013-01-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：136-139