大口径平板中频波前均方根的测量方法

摘要：

在高功率激光系统中,大口径元件的中频波前影响系统的安全运行,中频波前均方根( PSD1)是用来评价中频波前质量的关键参数.由于大口径干涉仪在系统传递函数(STF)上不能完全满足中频波前的检测要求,提出采用小口径高分辨率干涉仪检测的统计分析方法,建立了统计理论模型,分析了测量不确定度.建立了子区域PSD1检测装置,提出了子区域倾斜补偿法,提高了检测精度.理论及实验结果表明针对400 mm×400 mm分析区域,子区域数量设置为4×4,置信水平为95.4％时,测量不确定度为±0.266 nm.该方法与大口径干涉仪检测法的对比实验表明,400 mm×400 mm分析区域内检测结果偏差小于5％.子区域统计分析法是对大口径干涉仪检测法的有益补充,对先进光学制造工艺的优化具有重要的参考价值.

关键词：测量、波前检测、统计方法、大口径平板、中频波前均方根

所属期刊栏目：39

分类号：O436.1(光学)

资助基金：中国工程物理研究院项目05010708

在线出版日期：2012-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：173-178