基于三角形分布光栅的相位测量轮廓术

摘要：

相位测量轮廓术凭借其高精度、非接触的优点在现代生活中受到了极大的重视,但其应用却受到正弦光栅复杂制作工艺的限制.根据相位测量轮廓术的基本原理,提出了基于三角形分布光栅的相位测量轮廓术.同正弦光栅相比,三角形分布光栅的制作工艺相对简单,更具有实用意义.对这两种方法的精度进行了比较和分析,并分别在无噪声的理想情况和有噪声的实际情况下,分析了光栅周期、条纹对比度以及物体最大高度对测量精度的影响.通过计算机模拟与实验表明,基于三角形分布光栅的相位测量轮廓术具有较高的精度和可行性.

关键词：信息光学、光学三维传感、相位测量轮廓术、三角形分布条纹、光栅、相位展开

所属期刊栏目：38

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家863计划2007AA01Z333;国家重大专项2009ZX02204-008;四川省学术和技术带头人培养基金07GRC-01

在线出版日期：2012-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：224-228