光纤测头在小型气体激光器微深孔检测中的应用

摘要：

小型气体激光器腔体增益孔的直径小于1 mm,深度大于10 mm,长径比大,传统的方法很难对其进行测量.为了解决这种微深孔的测量问题,介绍了一种接触测量与光学测量相结合的方法.将末端带有发光球的光纤伸入待测孔中,在待测零件孔中做x、y方向移动,当球与孔壁接触后,会引起球心做相应的运动,利用CCD捕获发光球的球心,通过图像处理,可得出接触点处测头球心的xy坐标,拟合多点测量结果,从而实现深孔的直径、圆柱度及直线度等参数的测量.还通过亚像素边缘检测技术提高了系统的测量精度,最后采用0级标准环规对系统进行了验证,其测量结果的重复不确定度优于0.4 μm.并对深度为15mm、直径为0.6 mm的孔在三维测量显微镜上进行了测量,实验证明此测量方法为大长径比的孔的检测提供了一种可行的方法.

关键词：测量、光纤测头、微深孔、亚像素边缘检测技术

所属期刊栏目：38

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2012-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：206-210