梯度掺杂结构GaN光电阴极表面的净化

摘要：

对梯度掺杂结构GaN阴极表面进行了化学清洗,清洗后利用X射线光电子能谱仪(XPS)分析了阴极表面,分析表明化学清洗能有效去除阴极表面的油脂和加工中残存的无机附着物;然后在超高真空室内710℃下对阴极进行了高温退火清洁,去除化学清洗后残留在阴极表面的C、O等吸附物,使阴极表面达到制备高性能负电子亲和势(NEA)光电阴极所需的原子级清洁程度.最后通过阴极激活实验加以验证,结果证实化学处理后热退火方法能有效净化梯度掺杂结构GaN阴极表面.

关键词：光电子学、表面净化、X射线光电子能谱仪、梯度掺杂、GaN光电阴极、激活

所属期刊栏目：38

分类号：O484:TN205(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;南京理工大学自主科研专项

在线出版日期：2011-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：249-252