波长分离膜在2μm飞秒激光作用下的损伤特性

摘要：

用离子柬溅射的方法在红外石英玻璃基底上制备了Ta2O5/SiO2(1.064 pm波长下高透,2.128μm波长下高反)波长分离膜,利用飞秒激光系统(输出波长为2μm,脉宽为80 fs)测试了它的激光损伤情况,同时用光学显微镜和扫描电镜观察了样品的损伤形貌,根据不同能量作用下破斑面积与能量密度的关系拟合得到样品的损伤阈值.实验结果表明,2μm飞秒激光作用在波长分离膜的损伤形貌为层状分布,破斑边缘比较清晰,没有热扩散和热传导现象,属于本征损伤.利用基于导带电子数密度的理论模型,并结合电场分布与带隙理论讨论了2 μm飞秒激光作用于光学薄膜的损伤机制,确定了损伤起源于高低折射率界面处的窄带隙材料.

关键词：薄膜、波长分离膜、2μm飞秒激光、损伤阈值、损伤形貌

所属期刊栏目：38

分类号：O484.5(固体物理学)

在线出版日期：2011-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：184-188