脉冲光纤激光直写金属薄膜电阻实验研究

摘要：

目前激光直写膜电阻时,所加入的辅料容易造成杂质污染,膜的厚度和粗糙度难以降低.为减少杂质污染,降低膜厚和表面粗糙度,改善激光直写微电路性能,进行了透射式激光直写金属薄膜电阻的实验研究,分析了薄膜线宽与激光光斑能量分布特点的关系,获得了线宽低于光斑直径的导电薄膜.实验表明,扫描速度的增加或离焦量的降低会导致光斑重叠率和导线宽度减小.同时,过高的功率会使薄膜受到烧蚀破坏,功率过低则难以将靶材充分熔化附着在玻璃基板上.相比之下,锌膜颗粒尺寸较为均匀,而Al/Zn混合膜的颗粒尺寸不一致.

关键词：激光技术、薄膜导线、微电路、激光直写、金属粉末

所属期刊栏目：37

分类号：FN249

资助基金：北京市教委重点项目KZ200910005006

在线出版日期：2011-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：3196-3200