实时调节工作电压实现稳定准分子脉冲能量

摘要：

介绍了一种准分子激光脉冲能量稳定系统.它由能量检测、开关电源和控制器组成.其组成部分均良好屏蔽,组件之间由光纤传递信息,通过均值算法进行脉冲-脉冲的放电电压调节,在闸流管放电的强电磁干扰条件下实现了可靠的闭环控制.该系统实验于一重复频率5 Hz,采用火花预电离的KrF激光器.在气体状态好的情况下,将脉冲能量波动相对标准差由4.71%降低至3.01%;在气体状态较差、放电电压较低的情况下,将脉冲能量波动相对标准差由7.18%降低至3.62%,有效地提高了脉冲能量的稳定性.

关键词：激光器、准分子、能量稳定、闭环控制、实时检测

所属期刊栏目：37

分类号：TN248.2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2010-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：374-378