飞秒激光蚀刻光纤微腔及其在光纤环衰荡腔中的应用

摘要：

为了实现在光纤环衰荡腔(FLRD)系统中的微量气体液体传感,提出了利用飞秒激光微纳加工的方法加工微流体传感装置.利用800 nm的飞秒激光脉冲在普通980 nm,1550 nm的单模光纤上实现了直写光学微腔,微腔的宽度达到4 um,深度80 um.将在单模光纤刻蚀的光学微腔成功应用于光纤环衰荡腔系统之中.针对光纤环衰荡腔的系统装置,分析了该系统的探测原理,并对该系统应用于微流体吸收探测中所探测的衰荡时间、损耗及待测流体浓度的关系进行理论推导.利用此系统,实现了对微量流体浓度的吸收谱高灵敏度探测.

关键词：传感器、光学微腔、飞秒激光、光纤环衰荡腔光谱

所属期刊栏目：36

分类号：TN247;TP212.14(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金10674075,60577018资助课题

在线出版日期：2009-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：713-717