真空室内金属杂质污染对光学薄膜性能的影响

摘要：

真空室内金属粒子污染是降低激光薄膜性能的一个重要因素.采用高真空残余气体分析仪,对薄膜沉积过程中的气氛进行分析.发现由黄铜制作的加热灯架在工作时会分解出Zn,在这种条件下沉积薄膜,会使薄膜中掺人金属杂质,导致薄膜激光破坏阈值降低.采用表面分析技术对薄膜的组分进行分析,证实薄膜中锌杂质的存在.激光破坏实验证明,含有锌杂质的薄膜的破坏阈值明显降低.

关键词：薄膜、真空材料、杂质污染、激光损伤阈值

所属期刊栏目：34

分类号：O484.4(固体物理学)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：988-991