10.3321/j.issn:0258-7025.2007.05.001
飞秒激光微加工:激光精密加工领域的新前沿
飞秒激光微加工技术具有加工精度高、热效应小、损伤阈值低以及能够实现真正的三维微结构加工等优点,这些特性是传统的激光加工技术所无法取代的.首先回顾了激光微加工和超短脉冲激光技术的发展历史,然后介绍超短脉冲激光与金属和介质材料相互作用的机制,接着阐述了飞秒激光直写、干涉和投影制备等各种加工方法的原理,重点讨论飞秒激光在三维光子器件集成、微流体芯片制备及其在生化传感方面的应用等,最后展望了飞秒激光微加工领域所面临的机遇和挑战,指出了未来的研究方向.
超快光学、飞秒激光、光与物质相互作用、微加工、集成光学、双光子聚合、微流体、纳米颗粒
34
TN249(光电子技术、激光技术)
2008-08-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共28页
595-622