平行平板角位移干涉测量仪的优化设计

摘要：

提出一种可提高平行平板角位移干涉测量仪测量精度的优化设计方法.对角位移干涉测量系统进行了误差分析,讨论了影响角位移测量精度的主要因素.分析了在干涉仪光路中入射到平行平板上的初始入射角度、平行平板的折射率以及厚度等参数的选取对角位移测量精度的影响.结果表明,优化选取最佳的初始入射角度以及元件参数,并在干涉光路中附加引入一平面反射镜形成光程差放大系统,可实现的角位移测量精度达10-8 rad数量级.

关键词：激光技术、优化设计、误差分析、角位移

所属期刊栏目：34

分类号：TH741.2;TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金60578051;上海市科委资助项目051107085

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：422-426