对径测量传感器的激光校准方法

摘要：

对对径测量传感器的校准方法进行分析和研究,指出了当前手工校准方法存在的弊端和精度低的原因.提出了采用激光干涉仪进行对径测量传感器校准的新构想,实现了被测量到光程差的转化,设计了相应的差动校准测量光路,有效地消除了阿贝误差的影响,校准精度从原来的2.0 μm提高到0.14 μm,同时可得到被测传感器完整的校准曲线,实现了对径测量传感器的高精度、连续化、全自动校准.

关键词：仪器、传感器、校准、激光干涉仪、差动光路

所属期刊栏目：33

分类号：TP212;TN249(自动化技术及设备)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：261-265