掺入有机硅提高溶胶-凝胶二氧化硅减反膜的稳定性研究

摘要：

膜层稳定性对于激光器能否长期稳定使用极为重要.多孔SiO2减反膜经热处理后,结构中还存在许多Si-OH亲水基团,透过率稳定性受环境相对湿度的影响较大.向膜层中掺入有机硅,添加疏水基团,提高了膜层的疏水性,增强了膜层的透过率稳定性.膜层中加了Si-CH3疏水基团,膜层的疏水性大大提高;当Si-CH3与二氧化硅悬胶体中的Si的摩尔比为1/5.7时,即Si-CH3质量分数为0.35%时的二氧化硅膜层,其减反效果好,疏水性也高,从而大幅度提高了膜层的透过率稳定性,延长了膜层的寿命,对二氧化硅膜层具有高激光损伤阈值的性能没有影响.

关键词：薄膜、溶胶-凝胶、二氧化硅、减反膜、稳定性、有机硅

所属期刊栏目：33

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家科技攻关项目

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：116-119