飞秒激光双光子微细结构的制备

摘要：

基于双光子吸收引发的光聚合局限在紧密聚焦的焦点区域的原理,建立了飞秒激光三维微细加工系统;结合高斯光束的强度分布函数,推导了横向与轴向分辨率的表达式.在ORMOCER材料内实现了双光子光聚合,最高加工精度达到0.7μm.研究表明,加工线宽随功率增加而增加,随加工速度增加而减小;确定了波束腰为0.425μm,双光子吸收截面为2×10-54cm4·s.采用双光子光聚合技术,加工了齿宽5μm的实体微型齿轮,制备三维木堆型光子晶体结构,分辨率为1.1 μm,杆间距和层间距均为5μm,实现了飞秒双光子光子晶体结构的制备.

关键词：超快光学、飞秒激光、微细加工、双光子吸收、光聚合、光子晶体

所属期刊栏目：32

分类号：TN305;TN405(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金50275069,50375068

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1342-1346