二氧化硅光波导环形谐振腔

摘要：

利用宽角光束传输法(WA-BPM)对二氧化硅平面波导环形谐振腔进行了优化设计,详细分析了不同环形腔长度下,谐振腔清晰度与环形腔耦合器耦合系数的关系,并进一步分析了由光探测器散弹噪声所限制的谐振型光学陀螺极限灵敏度和环形腔光路参量之间的关系.在此基础上,在硅衬底上利用火焰水解化学掺GeO2的二氧化硅波导上制作成带输入/输出耦合器的环形谐振腔芯片.并通过实验测试了所研制的光波导环形谐振腔,其清晰度高达60,理论分析表明采用上述环形谐振腔研制的陀螺,其极限灵敏度可达1°/h.

关键词：集成光学、环形谐振腔、二氧化硅光波导、微型光学陀螺

所属期刊栏目：32

分类号：TN629.1;TN814+.6(电子元件、组件)

资助基金：教育部优秀青年教师资助计划教人司2003355号

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1330-1332