狭缝投影位置传感技术及其在精密定位中的应用

摘要：

提出了一种基于狭缝投影的位置传感技术,阐述了此技术的传感原理及其在精密定位中的应用.准直激光束照明的投影狭缝由一个透镜以掠入射角度投影在被测物体上,狭缝投影经过被测物体表面的反射和另一个透镜的成像在探测双缝上形成投影狭缝像.探测双缝放大成像在双像限探测器上,投影狭缝像透过探测双缝的光强分别被双像限探测器的两个像限所接收,通过检测双像限探测器两个像限上的光强获得被测物体的位置.实验验证了此传感技术的可行性,其位置重复测量偏差小于32 nm(1σ).

关键词：测量、位置传感器、精密定位、投影狭缝、探测双缝

所属期刊栏目：32

分类号：TN247;TP212.14(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA404050;上海市纳米科技专项基金0214nm091,0359nm004

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1178-1182