低损耗SOI单模脊形光波导的制备

摘要：

表面散射损耗与菲涅耳反射损耗是SOI(Silicon-on-msulator)脊形光波导的主要损耗机理.通过降低光波导损耗的研究,在厚膜SOI材料上制备了长度为20 mm,插入损耗小于2.15 dB的单模脊形光波导.

关键词：集成光学、脊形光波导、波导损耗

所属期刊栏目：31

分类号：TN252(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2001AA312070

在线出版日期：2004-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：230-232