激光棒波前畸变测试仪

摘要：

介绍了自行开发的移相式数字波面干涉仪的原理和特点,仪器主要用于激光棒材料波前畸变测试,仪器口径为30 mm,精度优于λ/20,重复性优于λ/50.仪器硬件具有四个特点:变倍、调焦、光通量控制、调整和测试转换;软件包建立在WINDOWS98平台上,进行干涉图采集、处理、波面图形绘制.输出结果形象直观,整个操作简单方便快捷,测试过程26 s.仪器还可测量晶体材料折射率均匀性、晶体元件面形、角度、平行度等.通过测试比对,数据与ZYGO结果一致.

关键词：测试计量仪器、波前畸变、激光棒、干涉仪

所属期刊栏目：30

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：938-942