电子束直写制作低效取样光栅

摘要：

低效取样光栅是激光取样技术的一种重要元件,它可以看成离轴的二相位的菲涅耳波带板.基于菲涅耳波带板的形成原理,对取样光栅的变周期环带结构进行了理论分析,推导出取样光栅的透过率函数.并在此基础上,采用电子束直写加工光栅掩模,制作取样光栅.该方法与一般的光学全息方法相比,具有设计灵活、重复性好、适于大批量生产等优点.

关键词：光学技术与仪器、低效取样光栅、电子束直写、菲涅耳波带板

所属期刊栏目：30

分类号：TH741.6(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划;光束控制重点实验室基金

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：134-136