光栅多普勒纳米干涉仪

摘要：

用横向塞曼激光作光源构成的Dammann光栅多普勒干涉仪有利于降低热膨胀影响,测量过程中干涉臂长不变、便于克服折射率漂移,具有0.7 nm分辨率.分析了光栅退偏效应的影响,与差动双频激光干涉仪进行了比对.实验结果表明,光栅间距光学8细分等间隔,当光栅栅距为20μm时其测量非线性误差不超过25 nm.

关键词：Dammann光栅、纳米分辨率、退偏效应、非线性误差

所属期刊栏目：27

分类号：O43(光学)

资助基金：中国科学院资助项目59875051;南京大学校科研和教改项目

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1080-1084