C/Al软X射线多层膜反射镜

摘要：

在λ=28.5 nm波长处,选择了一种新的多层膜材料对C/Al.与Mo/Si,C/Si软X射线多层膜相比,正入射C/Al多层膜在15.0 nm附近有很低的二级衍射峰.用磁控溅射法制备了C/Al软X射线多层膜样品,并用X射线小角衍射法对其结构进行了测试.

关键词：软X射线、正入射、多层膜反射镜

所属期刊栏目：26

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家科技攻关项目

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：808-810