极大规模集成电路含氟电子气体实现国产化

摘要：

由中国化工黎明化工研究设计院(以下简称黎明院)承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”子项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”日前通过国家重大专项项目组的测试与评审,标志着我国极大规模集成电路行业所需高纯度含氟电子气体实现国产化.

在线出版日期：2020-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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