微通道板表面碳污染的去除

摘要：

基于微通道板材料和结构特性,采用俄歇电子能谱仪(AES)分析了不同清洗条件下微通道板表面碳污染情况.研究结果表明:微通道板表面均存在一定程度的碳污染,且包边区碳污染程度高于端面通道区通道壁表面.紫外臭氧清洗能有效去除微通道板表面的碳污染,且使微通道板端面通道区通道壁表面K元素含量提高20%~35%.

关键词：微通道板、碳污染、紫外臭氧清洗

所属期刊栏目：26

分类号：TN223(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2017-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：33-35