10.3969/j.issn.1003-8965.2016.04.006
中国建材总院集成电路用陶瓷部件制造达国际先进水平
中国建筑材料联合会近日在北京主持召开了中国建材总院承研的“集成电路关键装备用高精密碳化硅陶瓷部件制造技术”科技成果鉴定会.鉴定委员会委员一致认为这项技术填补了国内空白,成果整体达到国际先进水平.
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2016-10-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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