中国建材总院集成电路用陶瓷部件制造达国际先进水平

摘要：

中国建筑材料联合会近日在北京主持召开了中国建材总院承研的“集成电路关键装备用高精密碳化硅陶瓷部件制造技术”科技成果鉴定会.鉴定委员会委员一致认为这项技术填补了国内空白,成果整体达到国际先进水平.

机标关键词：中国、建材、集成电路、陶瓷部件、鉴定委员会、制造技术、科技成果、建筑材料、碳化硅、鉴定会、高精密、装备、内空、合会、北京

所属期刊栏目：25

分类号：V23;TQ3

在线出版日期：2016-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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