创造高端技术装备研发的“神话”——中国建材总院推进高精密碳化硅陶瓷在IC装备制造业的新应用纪实

摘要：

装备制造业是制造业的核心组成部分,在某种意义上装备的先进程度可以代表整个国家的工业发展水平,因此建立强大的装备制造业是提高我国综合国力的途径之一.随着加工技术的进步,精密陶瓷作为第三代新兴材料,已经被引入到各种装备之中,充当着重要的角色,这为精密陶瓷的应用提供了广阔的用武之地,但与此同时,它对材料的性能及加工技术都提出了更加苛刻的要求.当前中国建筑材料科学研究总院已打破欧美等发达国家的技术垄断,推进高精密碳化硅陶瓷在IC装备制造业的新应用.

机标关键词：技术装备、神话、中国、建材、高精密、碳化硅陶瓷、装备制造业、精密陶瓷、加工技术、建筑材料、综合国力、新应用、科学研究、技术垄断、发达国家、发展水平、组成、性能、欧美、角色

所属期刊栏目：25

分类号：TH1;TS6

在线出版日期：2016-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：1-2