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10.3969/j.issn.1003-8965.2008.06.012

抛光石英玻璃蚀前清洗机理及试验探讨

引用
对精密抛光后的Ⅳ类石英玻璃尝试各种方法进行清洗,对各种清洗方法进行系统研究和分析,并用原子力显微镜对清洗后的表面形貌进行观察.发现超声波配合表面活性剂的清洗方法能够去除残留的分子型杂质.用氧化法可以去除大部分的原子型和离子型杂质.

石英玻璃、清洗、超声波、表面活性剂

17

TQL71.73+1

2009-03-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共5页

42-46

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11-2931/TU

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