10.3969/j.issn.1003-8965.2008.06.012
抛光石英玻璃蚀前清洗机理及试验探讨
对精密抛光后的Ⅳ类石英玻璃尝试各种方法进行清洗,对各种清洗方法进行系统研究和分析,并用原子力显微镜对清洗后的表面形貌进行观察.发现超声波配合表面活性剂的清洗方法能够去除残留的分子型杂质.用氧化法可以去除大部分的原子型和离子型杂质.
石英玻璃、清洗、超声波、表面活性剂
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TQL71.73+1
2009-03-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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10.3969/j.issn.1003-8965.2008.06.012
石英玻璃、清洗、超声波、表面活性剂
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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