抛光石英玻璃蚀前清洗机理及试验探讨

摘要：

对精密抛光后的Ⅳ类石英玻璃尝试各种方法进行清洗,对各种清洗方法进行系统研究和分析,并用原子力显微镜对清洗后的表面形貌进行观察.发现超声波配合表面活性剂的清洗方法能够去除残留的分子型杂质.用氧化法可以去除大部分的原子型和离子型杂质.

关键词：石英玻璃、清洗、超声波、表面活性剂

所属期刊栏目：17

分类号：TQL71.73+1

在线出版日期：2009-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：42-46