10.3969/j.issn.1003-8965.2007.05.009
溅射SiO2薄膜的红外特性研究
用反应溅射法制成了SiO2薄膜,应用傅立叶变换红外吸收光谱图研究其特性.Si-O-Si键的伸缩振动吸收峰和弯曲振动吸收峰分别位于1100 cm-1和600 cm-1附近.本文研究了吸收峰与薄膜厚度、氧含量、溅射温度等的关系,并结合XPS分析进行修正,目的用FTIR非破坏性快速方便检测SiO2薄膜.
反应溅射法、SiO2薄膜、XPS、FTIR
TQ171.73
2008-01-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
31-34