化学增幅抗蚀剂用光产酸剂--硫鎓盐的合成方法

摘要：

介绍了国内外光致抗蚀剂的研究进展、化学增幅光致抗蚀剂用光产酸剂--硫鎓盐的主要合成方法,同时介绍了193nm光致抗蚀剂所使用的光产酸剂及其合成方法,指出合成193nm光致抗蚀剂用光产酸剂的重要性.

关键词：光产酸剂、193nm、光致抗蚀剂、化学增幅、硫鎓盐

所属期刊栏目：15

分类号：X63

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：55-58