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10.3969/j.issn.1008-813X.2005.02.015

化学增幅抗蚀剂用光产酸剂--硫鎓盐的合成方法

引用
介绍了国内外光致抗蚀剂的研究进展、化学增幅光致抗蚀剂用光产酸剂--硫鎓盐的主要合成方法,同时介绍了193nm光致抗蚀剂所使用的光产酸剂及其合成方法,指出合成193nm光致抗蚀剂用光产酸剂的重要性.

光产酸剂、193nm、光致抗蚀剂、化学增幅、硫鎓盐

15

X63

2006-07-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

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中国环境管理干部学院学报

1008-813X

13-1272/X

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2005,15(2)

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