凹非球面的非零位干涉检测技术

摘要：

为了实现凹非球面的快速、高精度与通用化检测,文中提出了一种将非球面当做球面,直接采用干涉仪检测的非零位干涉检测方法,并结合相应的数据处理方法,获得非球面的面形误差检测结果.首先,介绍了该方法的检测原理,建立了回程误差、调整误差的计算与去除模型,研究了面形误差的数据处理方法.然后,以两个不同非球面度的凹非球面为例,对其回程误差和调整误差进行了仿真计算,验证了该方法的有效性.最后,搭建了凹非球面的非零位检测实验装置,成功测量得到其面形误差.通过与自准直零位检测法或LUPHOScan轮廓测量法检测结果对比发现,两种方法测量得到的面形分布和评价指标具有高度一致性,验证了该检测方法的正确性.该检测方法在保证高精度测量的同时兼备一定的通用性与便捷性,为凹非球面的通用化检测提供了一种有效手段.

关键词：非球面面形测量、非零位干涉检测、回程误差、数据处理

所属期刊栏目：17

分类号：TN74(基本电子电路)

在线出版日期：2024-02-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：140-149