用于量子传感的窄线宽无磁垂直腔面发射激光器

摘要：

为了研制出表面微透镜集成外腔的垂直腔面发射激光器(VCSEL),实现窄线宽无磁激光输出,满足原子磁强计等量子传感器应用要求,本文设计并生长了适合于表面集成微透镜的VCSEL外延结构,完成了表面微透镜集成外腔VC-SEL器件制备,在电极材料方面选取无磁材料以满足应用要求.实验结果表明:研制的VCSEL器件工作温度达到90°C,激光波长为896.3 nm,功率为1.52 mW,边模抑制比为36.3 dB,激光线宽为38 MHz,封装为模组后的磁场强度低于0.03 nT.结果表明本文研制的窄线宽无磁VCSEL满足量子传感的应用需求.

关键词：垂直腔面发射激光器、量子传感、高温、窄线宽、无磁

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分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金;中国科学院科技服务网络计划项目（STS）;中国科学院青年创新促进会项目;中国科学院青年创新促进会项目

在线出版日期：2022-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1038-1044