光栅精密位移测量技术发展综述

摘要：

精密测量是精密机械加工的基础,是制造行业中影响制造精度的决定性因素之一,在当代精密机械制造领域应用广泛.基于光栅的精密位移测量系统以其对环境要求小,测量分辨率高等优点,在精密位移测量领域占据重要位置.基于光栅的精密位移测量系统包括光学测量系统、信号接收、电子学细分及整体装调几部分.本文主要针对光学测量光路部分进行综述介绍.首先介绍了经典光栅干涉位移测量原理;其次,综述了基于光栅的精密位移测量系统的关键技术现状;再次,对比分析了几种最具有代表性的测量技术,总结其优缺点;最后,对基于光栅的精密位移测量技术进行展望,揭示其高精度、高分辨力、高鲁棒性、微型化、多维化、多技术融合的发展趋势.

关键词：位移测量、光栅、高精度测量、衍射干涉

所属期刊栏目：12

分类号：TP29(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金51505078;吉林省科技厅优秀青年人才基金20180520187JH;吉林省教育厅"十三五"科学技术项目基金JJKH20190544KJ;中国博士后面上基金2018M641778

在线出版日期：2019-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：741-752