双点干涉法位相缺陷检测中的解相算法比较

摘要：

双点光源移相干涉测量是大口径光学元件位相缺陷检测的一种重要方法。为了分析双点干涉中误差对解相算法的影响，首先给出相位缺陷检测的系统结构和理论模型，在此基础上，针对测量过程中主要存在的一次移相误差、二次移相误差、光强误差和随机振动误差，研究了 Hariharan 5帧移相算法、13帧移相算法和迭代随机移相算法的解相误差，并进行了仿真分析。结果表明，针对这几种误差源，13帧算法解相精度整体优于5帧法，迭代随机移相算法解相效果优于13帧法和5帧法，当这几种误差按实际指标同时作用时，迭代随机移相算法解相误差 RMS 小于5帧法和13帧法，PV 值稳定在0．5 nm 以内。由于随机振动占主要作用，说明迭代随机移相算法受误差影响很小。

关键词：位相缺陷、双点干涉、相位提取算法、误差分析

所属期刊栏目：9

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目No．61275096 Supported by National Natural Science Foundation of China61275096

在线出版日期：2016-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：483-490