大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术

摘要：

针对大口径离轴凸非球面面形检测的困难,本文将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接干涉技术相结合,提出了凸非球面系统拼接检测方法.对该方法的基本原理和具体实现过程进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型.当离轴三反光学系统的主镜和三镜加工完成以后,对整个系统进行装调和测试,并依次测定光学系统各视场的波像差分布,通过综合优化子孔径拼接算法和全口径面形数据插值可以求解得到大口径非球面全口径的面形信息,从而为非球面后续加工和系统的装调提供了依据和保障.结合工程实例,对一口径为287 mm×115 mm的离轴非球面次镜进行了系统拼接测试和加工,经过两个周期的加工和测试,其面形分布的RMS值接近1/30λ(λ =632.8 nm).

关键词：光学检测、大口径非球面、三镜消像散系统、波像差检验、子孔径拼接干涉技术

所属期刊栏目：9

分类号：TQ171.65;O436.1

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划资助项目O8663NJ090;国家重大基础研究计划973计划资助项目2011CB0132005;国家自然科学基金重点资助项目No.61036015 Supported by National High-tech R&D Program of ChinaO8663NJ090;National Program on Key Basic Research Projects of China2011CB0132005;National Natural Science Foundation of China61036015

在线出版日期：2016-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：130-136