大口径反射镜加工机床在线检测高精度对准方法

摘要：

本文提出了基于特殊点对靶标的快速对准装置，实现机床加工臂和检测臂初始扫描位置自动高精度复位。靶标由外围区域四组放大倍率标定点对和中心区域大小对准点对组成；对准装置经初次使用前的畸变校正后，每次自动识别靶标区域完成自动对焦；根据外围点对进行放大倍率标定；自动识别中心大小点对并对其进行坐标定位；根据当前点对靶标位置计算与理想位置角度量和平移量偏差，指导机床转台和导轨互相配合，迭代调整直至完成精确对准。实验表明该方法对准精度约为5μm，优于几十μm 的机械定位精度，更利于实现超高精度光学加工的快速收敛，提高大口径反射镜加工效率。

关键词：光学制造、在线检测、大口径反射镜、精确对准、图像配准

分类号：TH741;TP23(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金重点资助项目61036015;国家重点基础研究发展计划973计划资助项目No．2011 CB013205 Supported by Major Project of National Science Foundation of China61036015;National Program on Key Basic Research Projects of China2011 CB013205

在线出版日期：2015-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1027-1034