白光干涉测量超薄透明电极 ITO 薄膜的厚度

摘要：

随着平板显示技术的发展，透明电极ITO膜的厚度越来越薄。为了测试这种极薄的ITO膜，本文通过改进已有的频域分析算法，以便测试膜厚在20～150 nm之间的ITO膜。与现有算法相比，该算法有效改进了各个波长的位相解析精度。实验结果表明，待测透明电极薄膜的厚度为90～104 nm，其结果和标定值一致，证明了该算法能够测量膜厚小于100 nm的透明电极ITO薄膜。

关键词：白光干涉、频域分析、测量、厚度、透明电极

分类号：O438;O439(光学)

在线出版日期：2015-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：567-573