干涉测量波面重构 DCT 算法研究

摘要：

采用一种空间移相干涉仪测量凹形非球面反射镜光学表面，使用偏振元件和多幅图像同步采集实现移相，并对测量得到的干涉条纹采用基于离散余弦变换的相位解包裹算法，对不连续相位分布采用非加权的最小二乘法进行优化目标函数，最终重构出被测光学表面的面形。这种结构形式的干涉仪具有一定的抗振能力，同时在数字图像处理上优化了算法，能够快速稳定地得到被测面形，而且对硬件要求不高。结果表明：这种算法能够适用于非实验室条件下的光学测量，在一定干扰条件下可以达到较高的测量精度。

关键词：干涉测量、离散余弦变换、相位解包裹、最小二乘法、曲面拟合

分类号：TP394.1;TH691.9(计算技术、计算机技术)

资助基金：长春光机所领域前沿创新项目Y26532B120

在线出版日期：2014-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1012-1018