表面改性碳化硅基底反射镜加工技术现状

摘要：

针对表面改性SiC基底反射镜在空间光学系统中的应用，总结了该类反射镜在国内外的研究现状。概括了碳化硅基底反射镜的发展趋势。介绍了常用的碳化硅材料，分析了它们的性质。给出了几种常用的碳化硅镜坯制备工艺，包括成型、改性和不同的抛光技术。通过对国内现有加工工艺和改性技术的分析，总结出了适应我国的表面改性碳化硅反射镜加工的发展方向。

关键词：光学加工、碳化硅、碳化硅反射镜、表面改性

分类号：TH706;TN304.24(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2013-12-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：824-833