并行共焦测量中的并行光源技术综述

摘要：

并行共焦测量技术的核心是将单点共焦测量变成多点同时扫描测量，从而使共焦测量速度显著提高。本文介绍了共焦测量技术原理，综述了用于并行共焦的并行光源技术，分析了这些方法的优点和不足。结合作者近年来的研究成果，重点阐述了基于微透镜阵列和数字微镜器件（DMD）产生并行光源的新方法。分析和研究了DMD的空间光调制机理，最终建立了一种单光源双光路并行像散共焦测量系统。

关键词：共焦显微镜、并行光源、并行共焦测量、三维形貌术、微透镜阵列、数字微镜器件

分类号：TH742.9(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目No．50775063；教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目No．NCET-10-0116；华侨大学高层次人才科研启动费资助项目12BS109

在线出版日期：2013-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：652-659