10.3969/j.issn.2095-1531.2011.04.010
标准镜的高精度柔性支撑镜框的优化设计
为了实现干涉仪标准镜中光学元件的高精度定位,设计了一种柔性支撑镜框,研究了该结构的力学模型、结构参数、定位精度和透镜变形。首先,根据材料力学原理将柔性镜框等效为一个弹簧系统;根据力学方程和几何关系,建立了透镜中心位置与柔性结构的挠度之间的二元方程。然后,分析了安装位置、温度、结构参数对透镜位置以及作用力的影响。最后,应用有限元仿真分析了所设计结构的力学性能,并进行对比验证。结果表明,数值仿真分析的结果与有限元仿真结果基本相同,柔性镜框的柔性结构厚度最优值为1.5mm。该设计方案完全满足干涉仪标准镜对镜框在定位精度、稳定性方面的要求。
干涉仪、标准镜、柔性镜框、定位精度、稳定性、有限元分析
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TH744.3;TH703(仪器、仪表)
国家科技重大专项02专项2009ZX02205
2012-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共8页
380-387